能谱分析仪 这么牛哄哄的分析仪器,别说你不想花一分钟了解( 二 )
5.电子探针显微分析的两种扫描模式
EPMA有两种扫描方法:线扫描分析和面扫描分析。
(1)线扫描分析
使聚焦的电子束沿着样品观察区域内选定的直线(穿过粒子或界面)缓慢扫描。
x光光谱仪处于检测已知元素的特征x光的状态,得到反映元素含量变化的特征x光强度沿样品扫描线的分布。
X射线光谱仪处于检测未知元素的状态,获得沿扫描线的元素分布图,即线中包含哪些元素。
(2)表面扫描分析
聚焦电子束进行二维光栅扫描;x光光谱仪处于检测元素特征的x光的状态,获得由许多亮点组成的图像,即x光扫描图像或元素表面分布图像。
元素多,亮点密集。根据图像上亮点的密度和分布,确定该元素在样品中的分布:亮区表示元素含量高,灰色区表示含量低,黑色区表示含量低或不存在。
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