盐酸能用于干法刻蚀吗
【盐酸能用于干法刻蚀吗】
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盐酸能用于干法刻蚀 ， 因为在非酸性乙酰丙酮中，第三族氮化物和碳化硅很难湿法蚀刻，通常使用干法蚀刻 。干法刻蚀的刻蚀剂是等离子体，是利用等离子体和表面薄膜反应，形成挥发性物质，或直接轰击薄膜表面使之被腐蚀的工艺 。盐酸是氯化氢的水溶液，工业用途广泛 。盐酸的性状为无色透明的液体，有强烈的刺鼻气味，具有较高的腐蚀性 。浓盐酸具有极强的挥发性，因此盛有浓盐酸的容器打开后，氯化氢气体会挥发 ， 与空气中的水蒸气结合产生盐酸小液滴 。
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